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RMA系列自动匹配器

  • 全数字控制,匹配精度高,匹配时间短
  • 超宽匹配范围,可定制适配任意负载
  • 具有手动/自动匹配功能
  • 具有保持和预置设定功能

RMA系列自动匹配器

适用领域:

    可适配于RLS系列射频电源使用,广泛应用于等离子刻蚀、镀膜、等离子清洗、等离子去胶等工艺。单独使用时,可与其他厂家射频电源配套使用。

产品特点:

l  全数字控制,匹配精度高,匹配时间短

l  采用真空电容,可靠性高,使用寿命长

l  结构紧凑,体积小,安装便捷

l  超宽匹配范围,可定制适配任意负载

l  具有手动/自动匹配功能

l  具有保持和预置设定功能

l  具有通讯功能,可独立连接上位机实时显示负载状态

l  可定制化输出接口

 


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