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RLS系列射频发生器

  • 采用全数字控制,具有便捷和丰富的操作菜单
  • 进线具有APFC模块,提高输入侧功率因数,降低谐波
  • 具备CEX相位同步功能
  • 3个可编程模拟量输出

RLS系列射频发生器

适用领域

光伏产业、平板显示器行业、半导体行业、化工业、实验室、科研、制造业等。

适用工艺

等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等。

产品特点:

l  机架式安装方式

l  采用全数字控制,具有便捷和丰富的操作菜单

l  进线具有APFC模块,提高输入侧功率因数,降低谐波

l  稳定可靠的功放和直流控制模块

l  驻波1.5时仍能输出额定功率

l  具有多种通讯接口可选,通过通讯接口,可完全对电源进行操作

l  高亮LCD显示,操作直观

l  具备CEX相位同步功能

l  3个可编程模拟量输出

l完善保护功能

      


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